【摘 要】
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为了研究溅射功率对涂层化学成分及微观组织演变的影响,通过磁控共溅射法在Si晶片上制备Ni-Al合金镀层。采用XRD、SEM及TEM等测试手段对涂层的物相组成及显微组织进行分析。
【机 构】
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内蒙古建筑职业技术学院机电与暖通工程学院
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为了研究溅射功率对涂层化学成分及微观组织演变的影响,通过磁控共溅射法在Si晶片上制备Ni-Al合金镀层。采用XRD、SEM及TEM等测试手段对涂层的物相组成及显微组织进行分析。结果表明:在高溅射功率下,可观察到亚稳态(Ni,Al)基体和Ni3Al析出物的显著结晶特征微观结构,在较低溅射功率下,沉积的涂层表现出固溶体多晶结构,(Ni,Al)基体和Ni3Al沉淀的涂层表现出比单一(Ni,Al)相更高的硬度。在溅射过程中,随着高能量的输入,NiAl涂层逐渐形成了(Ni,Al)纳米晶和Ni3Al相。随Al溅射功率
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