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分析了准静态法的局限性,描述了杂质分布确定、高频C—V测量与数值计算三结合的测定方法.讨论了泊松方程的数值解,推导了非均匀结点下的迭代公式,给出了边界条件的恰当形式.更多还原
MIS结构中Ψ_s-V_G关系的测定
【摘 要】
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分析了准静态法的局限性,描述了杂质分布确定、高频C—V测量与数值计算三结合的测定方法.讨论了泊松方程的数值解,推导了非均匀结点下的迭代公式,给出了边界条件的恰当形式.
【机 构】
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四川大学物理系
【出 处】
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四川大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1991年4期
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