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对当前硅光集成的研究焦点--制备大断面单模脊形光波导的单模条件,用有效折射率法进行分析,也计算了传播常数等性能参数。结果表明,有效折射率法有方法简明、结论确切的优点。它能同时给出单模区、多模区及截止区的条件,已有效指导了SIMOX及n/n^+外延型两种单模脊形硅光波导的制备。文中最后给出了实验结果。