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日本产业技术综合研究所采用微波等离子体CVD(化学气相沉积)法,首次利用气体制作出体积1立方厘米级的无裂纹单晶金刚石。此次采用容易扩大合成面积的气体为原料,制作出全球最大级的高品质晶体,这一成果是向实现大型晶圆迈出的重要一步。
气体原料制出1立方厘米级单晶金刚石
【摘 要】
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日本产业技术综合研究所采用微波等离子体CVD(化学气相沉积)法,首次利用气体制作出体积1立方厘米级的无裂纹单晶金刚石。此次采用容易扩大合成面积的气体为原料,制作出全球最
【出 处】
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新疆交通运输科技
【发表日期】
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2018年B12期
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