激光位移传感器传感探头微小型光学系统设计

来源 :中国光学 | 被引量 : 1次 | 上传用户：zcf3031132044

【摘要】

：

光斑质量直接影响激光位移传感器测量的精度。为了提高激光位移传感器传感探头光学系统的成像质量,设计了传感探头四片式微小型光学系统。本文在理想成像基础上,分析光束在光学系统中能量传递的变化规律,对比光电探测器的感光能力,利用光学设计软件(ZEMAX)实现了激光位移传感器传感探头微小型光学系统的设计。通过理论计算分析,严格控制传感探头孔径光阑的大小,对光学系统进行优化处理,成像最大弥散斑半径低于3. 3

【作者】

：

张爽朱万彬李健鲁秀娥

【机构】

：

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,中国科学院大学,长春相干光学机电技术有限公司

【出处】

：

中国光学

【发表日期】

：

2018年06期

【关键词】

：

微小型光学系统 ZEMAX 光斑质量 micro-optical systemZEMAXspot quality

【基金项目】

：

吉林省科技厅重点科技成果转化项目(No.20150307036GX,No.20150307039GX).

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