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介绍了微米级玻璃微珠颗粒度标准物质系列SB040102～SB040109的研制方法,得到粒度分布范围5～95μm不同量值共8个级别的颗粒度标准物质.通过研究与验证,建立了一套符合NIST要求的、具有量值溯源性的颗粒度标准物质的定值方法;提出了颗粒度标准物质性能评价的参数与方法.数据分析表明,研制的系列粒度标准物质与国际先进的粒度标准物质相比,在球形度、粒度分布的单分散性和正态性3方面均达到了先进水平.该项技术对于纳米级颗粒度标准物质的开发与研制,同样具有借鉴意义.