基于黑硅吸收层和多层纳米组合薄膜的红外探测器的制备及研究

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【摘要】

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采用sol-gel(溶胶-凝胶)技术在SOI基底上制备了多层组合结构的纳米薄膜(PT/PZT/PT~PT/PZT/PT),采取金属键合技术,将薄膜作为敏感元件翻转与另一高热阻抗基底对接键合,然后腐

【作者】

：

郑雅伟郑俊华

【机构】

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山西经济管理干部学院,山西科达自控股份有限公司

【出处】

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电子器件

【发表日期】

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2018年4期

【关键词】

：

电子通讯技术红外传感器多层组合纳米薄膜黑硅吸收层 electronic communication technology IR detector mult

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采用sol-gel(溶胶-凝胶)技术在SOI基底上制备了多层组合结构的纳米薄膜(PT/PZT/PT~PT/PZT/PT),采取金属键合技术,将薄膜作为敏感元件翻转与另一高热阻抗基底对接键合,然后腐蚀SOI上的底层硅和氧化硅,最终SOI材料上制备出具有锥状森林结构的黑硅作为吸收层得到一种新颖的敏感元件。重点开展高检测性能的薄膜结构和黑硅吸收层的加工工艺及其敏感机理研究,为实现气体传感器微型化、集成化与批量生产奠定技术基础。

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