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本文主要介绍MOCVD技术。以实例对MOCVD技术与LPE技术、氯化物CVD和MBE技术进行了比较。评价了MOCVD技术在半导体光电器件制备领域内的作用。
金属有机化学汽相淀积技术
【摘 要】
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本文主要介绍MOCVD技术。以实例对MOCVD技术与LPE技术、氯化物CVD和MBE技术进行了比较。评价了MOCVD技术在半导体光电器件制备领域内的作用。
【机 构】
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重庆光电技术研究所
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1987年2期
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