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日本经济产业省推行绝缘膜开发项目计划
日本经济产业省推行绝缘膜开发项目计划
来源 :精细与专用化学品 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mengdewei6677
【摘 要】
:
<正> 日本经济产业省(METI)推行名为太平盛世(Millennium)先进信息技术项目研究(MIRAI),计划于2004年3月开发出高介电常数绝缘膜(简称高K材料)和低介电常数层间绝缘膜(低K材
【作 者】
:
李正
【出 处】
:
精细与专用化学品
【发表日期】
:
2003年5期
【关键词】
:
日本
经济产业省
绝缘膜开发项目
MIRAI计划
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<正> 日本经济产业省(METI)推行名为太平盛世(Millennium)先进信息技术项目研究(MIRAI),计划于2004年3月开发出高介电常数绝缘膜(简称高K材料)和低介电常数层间绝缘膜(低K材料)。据悉,2003年3月该项目将达到比利时大学微电子
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