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<正> 日本经济产业省(METI)推行名为太平盛世(Millennium)先进信息技术项目研究(MIRAI),计划于2004年3月开发出高介电常数绝缘膜(简称高K材料)和低介电常数层间绝缘膜(低K材料)。据悉,2003年3月该项目将达到比利时大学微电子
日本经济产业省推行绝缘膜开发项目计划
【摘 要】
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<正> 日本经济产业省(METI)推行名为太平盛世(Millennium)先进信息技术项目研究(MIRAI),计划于2004年3月开发出高介电常数绝缘膜(简称高K材料)和低介电常数层间绝缘膜(低K材
【出 处】
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精细与专用化学品
【发表日期】
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2003年5期
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