SiGe HBT的热载流子效应评价

来源 :华南理工大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:hualing_xue
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电压加速退化试验方法(OCSAM;EB结反偏)常用于评价硅锗异质结晶体管(SiGeHBT)的热载流子效应,但晶体管在高电压、低电压分别作用下所产生的的失效机理并不相同,且耗时长.文中采用电流加速应力试验方法(FCSAM;EB结反偏、CB结正偏),评价SiGeHBT在热载流子效应作用下的可靠性,研究施加应力前后SiGeHBT器件电特性的变化,分析了电特性退化的原因.结果表明:随应力施加时间的增加,SiGeHBT的电流放大系数逐步退化;与传统的电压加速退化试验方法相比,FCSAM显著缩短了试验时间,能对SiG
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