【摘 要】
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铜蒸气激光诱导硅掺硼的实验研究钱育军,潘佰良,姚志欣,齐仲甫(浙江大学物理系,杭州310027)制作PN结的传统方法是扩散和离子注入法,但装置较复杂,处理步骤多,结厚,不易控制,无法重掺。而激光诱导
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铜蒸气激光诱导硅掺硼的实验研究钱育军,潘佰良,姚志欣,齐仲甫(浙江大学物理系,杭州310027)制作PN结的传统方法是扩散和离子注入法,但装置较复杂,处理步骤多,结厚,不易控制,无法重掺。而激光诱导可利用激光的能量高度集中特性,使半导体表面的极浅层迅...
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