脉冲真空电弧离子镀在不锈钢上沉积类金刚石薄膜的研究

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【摘要】

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利用脉冲真空电弧离子镀技术在3Cr13不锈钢上制备了类金刚石(DLC)薄膜,通过Raman光谱分析了膜的结构特征,采用摩擦磨损试验机测试了薄膜在不同载荷下的摩擦系数,运用划痕仪研

【作者】

：

周顺严一心

【机构】

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西安工业学院,薄膜技术与光学检测重点实验室,陕西,西安,710032

【出处】

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真空

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

类金刚石薄膜脉冲电弧摩擦系数不锈钢

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利用脉冲真空电弧离子镀技术在3Cr13不锈钢上制备了类金刚石(DLC)薄膜,通过Raman光谱分析了膜的结构特征,采用摩擦磨损试验机测试了薄膜在不同载荷下的摩擦系数,运用划痕仪研究了膜基的结合强度.结果表明:所镀制的薄膜具有典型类金刚石结构特征,膜中ID/IG为1.33;摩擦系数随着载荷的增大而减小,载荷为5 N,转速120 r/min时的摩擦系数为0.12;Ti过渡层的引入显著地提高了膜基结合力.

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