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我国特种气体产业的发展
我国特种气体产业的发展
来源 :低温与特气 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yuanyu_518
【摘 要】
:
回顾了我国集成电路产业的发展历程,介绍了自“六五”以来电子特种气体攻关和产业化成绩,指出石油化工企业用标准气市场潜力巨大。
【作 者】
:
梁国伦
【机 构】
:
大连化工部光明化工研究设计院
【出 处】
:
低温与特气
【发表日期】
:
1998年4期
【关键词】
:
电子气体
标准气体
中国
特种气体产业
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回顾了我国集成电路产业的发展历程,介绍了自“六五”以来电子特种气体攻关和产业化成绩,指出石油化工企业用标准气市场潜力巨大。
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