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双金属热致动器通过加热使得驱动元件本身的温度升高，结构内部产生热应力，导致薄膜产生线性应变，从而达到驱动目的．分析了双金属热致动原理，经过理论建模与matlab软件仿真，给出了双金属片的形变位移与悬臂梁长度、结构厚度、两种材料热膨胀系数差、温度变化量以及材料弹性模量与悬臂梁宽度的具体关系，根据仿真结果，后两者的变化对其形变大小影响不大．所得结论为双金属热致动器的设计提供了详细的理论依据．