固体薄膜的超高真空化学气相沉积

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描述了用于进行超高真空化学气相沉积(UHVCVD)研究的一个实验装置,并讨论氧化钛,砷化镓,铑和铁薄膜硅在单晶表面上的UHVCVD及其原位表征,还简单地探讨了UHVCVD在制备模型催化剂中的应用。
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