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介绍了有机硅单体分离系统的3种工艺流程,即顺式切割的10塔流程、反式切割的10塔流程和7塔流程.并采用化工过程模拟软件Aspen Plus进行了模拟计算,对3种工艺流程的能耗做了详细对比,结果表明:10塔流程在能耗和主产品二甲基二氯硅烷的收率方面均优于7塔流程.两种10塔流程各有优劣,顺式切割的10塔流程与反式切割的10塔流程的产品纯度相当,而能耗较低,但设备投资较大.