【摘 要】
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为避免Al2O3陶瓷/Kovar接头裂纹的产生,在Kovar表面磁控溅射金属Mo,并使用Ti-Cu-Ni活性钎料进行钎焊试验。通过扫描电镜和能谱对界面微观组织和成分进行了分析。结果表明,当
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为避免Al2O3陶瓷/Kovar接头裂纹的产生,在Kovar表面磁控溅射金属Mo,并使用Ti-Cu-Ni活性钎料进行钎焊试验。通过扫描电镜和能谱对界面微观组织和成分进行了分析。结果表明,当溅射钼中间层的厚度为14.2μm时,在Al2O3/Kovar界面处,Mo中间层可阻碍Kovar中Fe元素与钎料中Ti元素相互反应产生脆性FexTiy金属间化合物,防止了界面处裂纹的生成。
To avoid cracks in the Al2O3 ceramic / Kovar joint, Mo metal was magnetron sputtered on the surface of Kovar and brazed using Ti-Cu-Ni active brazing filler metal. The interface microstructure and composition were analyzed by SEM and EDS. The results show that when the thickness of the sputtered-molybdenum interlayer is 14.2 μm, the Mo interlayers at the Al2O3 / Kovar interface can prevent the interaction of Fe in Kovar and Ti in the solder to produce brittle FexTiy intermetallics, preventing the interface Crack formation.
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