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重点介绍了电子束提纯多晶硅原理、电子束提纯炉工作原理、电子束提纯炉设备结构、电子束炉熔炼时间和熔炼温度选择。在实验环境中,炉室真空保持在1.0×10-2Pa以上,电子枪功率保持在250 k W,实验结果发现,熔炼40min后主要杂质元素含量可以降低一个数量级。
电子束提纯多晶硅工艺研究
【摘 要】
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重点介绍了电子束提纯多晶硅原理、电子束提纯炉工作原理、电子束提纯炉设备结构、电子束炉熔炼时间和熔炼温度选择。在实验环境中,炉室真空保持在1.0×10-2Pa以上,电子
【机 构】
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宁夏职业技术学院能源与化工技术系
【出 处】
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能源与节能
【发表日期】
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2015年12期
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