【摘 要】
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为提高一种海洋MEMS电导率传感器的测量性能,基于电场基本理论分析了影响传感器测量性能的主要因素,并对传感器结构进行优化设计。采用COMSOL软件分别构建和仿真了优化前后传
【机 构】
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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,国家海洋技术中心
【基金项目】
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国家重点研发计划重点专项项目(2016YFC1400400);滨海新区海洋经济创新发展示范项目(1723434C4114194)
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为提高一种海洋MEMS电导率传感器的测量性能,基于电场基本理论分析了影响传感器测量性能的主要因素,并对传感器结构进行优化设计。采用COMSOL软件分别构建和仿真了优化前后传感器测量模型,得出海水电导率在5 mS/cm~70 mS/cm,激励频率在10 kHz~100 kHz范围内,传感器结构优化后比优化前对应的海水测量阻值范围提高了4.39倍,。优化后的传感器结构准确度提升至±1.18%,灵敏度提升至15.6 cm^-1。且优化前传感器结构准确度与灵敏度的仿真值与相关文献同类型结构传感器实际数据
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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技