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二氧化钒薄膜由于其相变特性在多个不同领域中被广泛研究。针对其在开关器件方面的应用,介绍了近年来国内外常见的二氧化钒薄膜制备工艺研究进展并比较其优缺点,同时从不同二氧化钒相变的外部激励机制对国内外基于二氧化钒研发的开关器件进行了介绍,以期为今后的二氧化钒相变开关的研究提供参考。
二氧化钒薄膜制备工艺及其在开关器件的应用研究进展
【摘 要】
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二氧化钒薄膜由于其相变特性在多个不同领域中被广泛研究。针对其在开关器件方面的应用,介绍了近年来国内外常见的二氧化钒薄膜制备工艺研究进展并比较其优缺点,同时从不同二氧化钒相变的外部激励机制对国内外基于二氧化钒研发的开关器件进行了介绍,以期为今后的二氧化钒相变开关的研究提供参考。
【机 构】
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上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室,上海理工大学教育部光学仪器与系统工程研究中心
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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2021年3期
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