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高精度全聚合物MZI波导传感器

来源 :吉林大学学报(信息科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：suntow

【摘 要】

：

为解决基于有机衬底的传统光波导传感器灵敏度低的问题,提出了基于聚合物材料的高灵敏度MZI（Mach-Zehnder Interferometer）波导的传感器结构,从理论上设计了对称形MZI和非对称

【作 者】

：

刘豫 谢泰洋 衣云骥 张大明 

【机 构】

：

吉林大学集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林大学电子科学与工程学院

【出 处】

：

吉林大学学报(信息科学版)

【发表日期】

：

2017年3期

【关键词】

：

光波导 传感器 聚合物 灵敏度 

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为解决基于有机衬底的传统光波导传感器灵敏度低的问题,提出了基于聚合物材料的高灵敏度MZI（Mach-Zehnder Interferometer）波导的传感器结构,从理论上设计了对称形MZI和非对称形MZI的高灵敏度波导传感器结构。得到对称型MZI形波导传感器折射率在1.34~1.36、1.36~1.38和1.38~1.40区间内灵敏度分别为1 850.76 d B/RIU、1995.09 d B/RIU和1 547.30 d B/RIU。圆弧型非对称型MZI波导传感器折射率在1.33~1.35、1.35

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