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本文进行了陶瓷基板上高速磨削加工宽0.10-0.01^0mm、深0.2~0.4mm窄深槽工艺试验研究,得出能够满足加工要求的最佳工艺参数是:主轴转速35000r/min,进给速度35min/s。同时推荐了可用的参数范围:主轴转速33000~36500r/min,工作台进给速度20~40min/s。在生产现场,采用推荐的最佳主轴转速和进给速度,进行了磨深0.21mm的验证实验,对加工出的窄深槽在50倍的投影仪上进行了检测,缝宽0.095mm,没有可以观察到的崩口,达到了技术要求。