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本文进行了陶瓷基板上高速磨削加工宽0．10-0.01^0mm、深0．2～0．4mm窄深槽工艺试验研究，得出能够满足加工要求的最佳工艺参数是：主轴转速35000r／min，进给速度35min／s。同时推荐了可用的参数范围：主轴转速33000～36500r／min，工作台进给速度20～40min／s。在生产现场，采用推荐的最佳主轴转速和进给速度，进行了磨深0．21mm的验证实验，对加工出的窄深槽在50倍的投影仪上进行了检测，缝宽0．095mm，没有可以观察到的崩口，达到了技术要求。