【摘 要】
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采用微机电系统（micro-electro—mechanical system，MEMS）技术设计和制作了一种基于氮化铝（aluminum nitride，AIN）基热隔离四阵列热流量风速风向传感器，并同时集成了一个环境温度传
【机 构】
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哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院测控技术与仪器黑龙江省高校重点实验室
【基金项目】
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黑龙江省教育厅科学技术研究项目（11541047）、黑龙江省研究生创新科研项目（YJSCX2001-049HLJ）资助
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采用微机电系统（micro-electro—mechanical system，MEMS）技术设计和制作了一种基于氮化铝（aluminum nitride，AIN）基热隔离四阵列热流量风速风向传感器，并同时集成了一个环境温度传感器。在厚度为0．2mm的A1N基片上通过光刻剥离工艺和激光微加工工艺实现2D微结构风速风向传感器制备。传感器由中间加热器、4个温度探测器和1个温度传感器组成，4个温度探测器之间通过激光微加工刻蚀8个热隔离通孔以减少热传导损失，提高有效热流量交换。通过对传感器的ANSYS仿真及性能测
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