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用溶胶——凝胶法制备SrTiO3纳米薄膜材料
用溶胶——凝胶法制备SrTiO3纳米薄膜材料
来源 :西北大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:a7395937
【摘 要】
:
为制备具有电容和压敏特性的SrTiO3双功能器件,以Sr(NO3)2,Ti(OC4H9)4为原料,用溶胶-凝胶方法制备SrTiO3材料,研究了水和醋酸等对SrTiO3材料的影响机理,并对其进行X-射线衍射、红外光谱和TEM分析,证明该薄膜为纳米晶体结构,晶粒
【作 者】
:
张志勇
王雪文
【机 构】
:
西安理工大学电子工程系,西北大学电子科学系
【出 处】
:
西北大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
2000年5期
【关键词】
:
溶胶--凝胶法
SRTIO3薄膜
纳米晶体
SrTiO_3 filmsSol-Gel processnanocrystallinestructure analy
【基金项目】
:
陕西省教委重点科研基金资助项目!(EE9301)
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为制备具有电容和压敏特性的SrTiO3双功能器件,以Sr(NO3)2,Ti(OC4H9)4为原料,用溶胶-凝胶方法制备SrTiO3材料,研究了水和醋酸等对SrTiO3材料的影响机理,并对其进行X-射线衍射、红外光谱和TEM分析,证明该薄膜为纳米晶体结构,晶粒尺寸为12-25nm。
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