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采用丝网和钢网印刷工艺可以在晶圆背面大区域内进行快速而均匀的覆膜.丝网印刷工艺有较好的工艺能力,钢网印刷覆膜厚度均匀性受制于机器的平面度.
晶圆背面覆膜的丝网和钢网印刷工艺
【摘 要】
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采用丝网和钢网印刷工艺可以在晶圆背面大区域内进行快速而均匀的覆膜.丝网印刷工艺有较好的工艺能力,钢网印刷覆膜厚度均匀性受制于机器的平面度.
【机 构】
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DEK
【出 处】
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电子元器件资讯
【发表日期】
：
2004年期
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