用热CVD法超微粒子涂覆装置制取SiC-Si3N4

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SiC和Si3N4作为高温材料引人注目。由于SiC在氧化性气氛中会升华,因此加入(低温下强度较差的)Si3N4制成SiC-Si3N4复合粉体,使其在氧化性 SiC and Si3N4 attract attention as high-temperature materials. Since SiC sublimates in an oxidizing atmosphere, SiC3Si4N4 powder is added to Si3N4 (which is less strong at low temperatures) to make it oxidize
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