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在实验和理论上研究了粉粒在等离子体鞘区的沉降、带电、收集和刻蚀。基于粉尘对等离子区电子能量分布函数的影响，讨论了粉尘对等离子体的干扰。有关结果表明等离子体对硅粉的纯化处理有可能应用于将工业硅直接制成太阳级硅。
粉尘等离子体的研究
【摘 要】
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在实验和理论上研究了粉粒在等离子体鞘区的沉降、带电、收集和刻蚀。基于粉尘对等离子区电子能量分布函数的影响，讨论了粉尘对等离子体的干扰。有关结果表明等离子体对硅粉的
【机 构】
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华中科技大学电子科学与技术系,华中科技大学网络与计算中心
【出 处】
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中国材料科技与设备
【发表日期】
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2008年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（10475029）
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