静压空气轴承

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随着科学技术的进步,精密机械零件加工向着高精度(0 .1 ~0 .01微米)方向发展,需要有超精密加工设备。本专利介绍了一种静压空气轴承。 这种轴承有如下优缺点: 1)摩擦力小(空气的粘度是普通润滑油的1/1000,适于超高速运转9 2)适应各种温度O 3)寿命长,不需要较多的维护; 4)不易 With advances in science and technology, the development of precision machinery parts towards high precision (0.1-1.0 μm) requires ultra-precision machining equipment. This patent describes a hydrostatic air bearing. This bearing has the following advantages and disadvantages: 1) small friction (the viscosity of the air is 1/1000 of normal lubricants, suitable for ultra-high speed operation 9 2) adapt to a variety of temperature O 3) long life, do not require more maintenance ; 4) not easy
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