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本文介绍了一种基于反射型原理的光纤非接触式位移测最仪。该测量仪可广泛用于尺寸、形状、位置精度的离线和在线测量,特别适于精密和超精密加工中应用。
一种宽范围微小位移测量仪的研究
【摘 要】
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本文介绍了一种基于反射型原理的光纤非接触式位移测最仪。该测量仪可广泛用于尺寸、形状、位置精度的离线和在线测量,特别适于精密和超精密加工中应用。
【机 构】
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华中理工大学机一系,华中理工大学机一系
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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1990年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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