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采用sol-gel法在石英衬底上制备了ZnO薄膜，通过改变溶胶浓度、涂敷层数及退火温度，研究了ZnO薄膜的形貌、结构性能及光学性能。结果表明，薄膜具有六方纤锌矿结构，表面均匀致密，晶粒大小在25～35nm之间，zn含量为0，8mol／L的溶胶经旋涂并在500℃下退火1h后可获得最高的可见光透射率，平均透射率约为94％。获得的ZnO薄膜的光学带隙在3．27～3.29eV之间。