【摘 要】
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UV/O<sub>3</sub>是去除半导体表面碳氢化合物的有效方法之一。该文利用X光电子能谱仪讨论了GaAs经UV/O<sub>3</sub>处理的表面化学状态,得知表面氧化物为Ga<sub>2</sub>O<su
【机 构】
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华东工学院光电技术系,中国科学院电子研究所
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UV/O<sub>3</sub>是去除半导体表面碳氢化合物的有效方法之一。该文利用X光电子能谱仪讨论了GaAs经UV/O<sub>3</sub>处理的表面化学状态,得知表面氧化物为Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>、As<sub>2</sub>O<sub>3</sub>及As<sub>2</sub>O<sub>
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