化学气相沉积法制备的块体Si-C-N陶瓷的热行为

来源 :无机材料学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：pipiyouxi

【摘要】

：

采用化学气相沉积法制备了块体非晶态Si-C-N陶瓷.用TG/DSC、XRD、SEM和TEM等技术方法研究了所制备的Si-C-N陶瓷的热行为.研究结果表明：在热处理过程中,非晶态Si-C-N首先发生相

【作者】

：

卢国锋乔生儒张程煜焦更生

【机构】

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西北工业大学超高温结构复合材料国家重点实验室,渭南师范学院化学化工系

【出处】

：

无机材料学报

【发表日期】

：

2011年7期

【关键词】

：

非晶态 Si-C-N陶瓷热行为晶化 amorphous Si-C-N ceramic thermal behavior crystallization

【基金项目】

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National Natural Science Foundation of China（50772089）, Graduate Project of Weinan Normal University（10YKZ052）, Scientific Culture Plan（11YKP018 and 11YKZ003）

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采用化学气相沉积法制备了块体非晶态Si-C-N陶瓷.用TG/DSC、XRD、SEM和TEM等技术方法研究了所制备的Si-C-N陶瓷的热行为.研究结果表明：在热处理过程中,非晶态Si-C-N首先发生相分离,分离后的一种相呈颗粒状;β-SiC就是从这种颗粒状的分离相中形成.在热处理条件下,非晶Si-C-N的晶化温度约为1200℃;在加热速率为20℃/min的连续加热条件下,其晶化温度为1372.6℃.β-SiC在1200℃首先形成,β-Si3N4和α-SiC则在1500℃形成.在扫描电镜观察中,热处理后的Si

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