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为了解决纳米定位平台小型化、定位精度高的问题，采用体硅加工技术成功地研制了一种基于单晶硅的、带有位移检测功能的新型二自由度微型定位平台．介绍了定位平台的工作原理，通过理论计算和有限元模拟相结合的方法实现定位平台的结构设计．提出了一种面内侧壁压阻加工方法，成功地在定位平台上集成了压阻位移检测传感器．实验结果表明，有效驱动电压取23．68V时，定位平台最大单轴输出位移为10gm，运动平台的定位精度优于20nm；室温下压阻传感器的阻值为4．2kΩ，击穿电压为75V，在平台输出位移为10nm时，压阻器件的灵敏度（