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非球面光学元件表面形貌的干涉量测因须透过电脑全像片、零透镜等补偿元件提供与待测元件相匹配之理想非球面波前,故需严谨与复杂的程序进行量测系统即包含干涉仪内部光路系统对准误差、参考球面镜头与补偿元件等误差的校正。然而,量测结果亦包含镜片之夹持变形、承受重力之自重变形与量测环境的震动与气流扰动等资讯,此类误差源对中大口径、量测光程长的光学元件之面形检测影响甚重。