基于容栅传感器的二维微小位移测量方法研究

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针对物体微小位移方向难以判别的问题,提出一种基于容栅传感器的二维微小位移测量方法以及平面内任意方向位移二元参数模型,并设计了容栅传感器和微小位移双通道测试系统。利用带有两个千分尺的模拟测试台,模拟物体在平面内微小位移(毫米级)进行测量,测试系统两个通道输出与微小位移变化对应的差分电压,通过分析两个通道的差分输出电压即可得到微小位移量值和方向。经过实验验证了测试方法的可行性以及参数模型的正确性。实验结果表明:当物体在平面坐标x轴或y轴产生单方向相对位移时,依据两个通道差分电压输出变化可以明确判断位移方
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