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光束自动准直系统是高功率激光惯性约束聚变装置的重要子系统，激光远场监测技术是光束自动准直系统的关键技术，基于光栅取样的新型远场监测系统可以利用光栅衍射灵活取样激光远场。对影响光栅取样系统远场监测精度的主要因素进行了分析，结果表明，系统误差为小孔直径的7．49％，包括投影误差和斜成像误差；随机误差小于小孔直径的1％，包括物像关系误差和衍射光耦合误差。