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MCM多功能芯片集成工艺技术研究
MCM多功能芯片集成工艺技术研究
来源 :微处理机 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wzx85695021
【摘 要】
:
近几年来 ,MCM技术在许多方面应用越来越广泛 ,本文着重介绍了 MCM工艺的实现过程 ,并以 5 4 HCT0 4为例 ,用倒装焊的方法 ,制造出了具有一定功能的电路模块。
【作 者】
:
刘瑞丰
【机 构】
:
东北微电子研究所
【出 处】
:
微处理机
【发表日期】
:
2003年05期
【关键词】
:
多芯片组件
倒装焊
凸点
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近几年来 ,MCM技术在许多方面应用越来越广泛 ,本文着重介绍了 MCM工艺的实现过程 ,并以 5 4 HCT0 4为例 ,用倒装焊的方法 ,制造出了具有一定功能的电路模块。
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