基于MEMS工艺微悬臂梁阵列光学读出红外成像研究现状

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非制冷红外成像技术由于其成本低可考性好而倍受关注.一种基于MEMS双材料梁阵列的新概念光学读出红外成像系统也于今年来被提出来.介绍了这种系统成像原理,影响参数及其研究现状,最后展望了其发展前景.
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