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非制冷红外成像技术由于其成本低可考性好而倍受关注.一种基于MEMS双材料梁阵列的新概念光学读出红外成像系统也于今年来被提出来.介绍了这种系统成像原理,影响参数及其研究现状,最后展望了其发展前景.
基于MEMS工艺微悬臂梁阵列光学读出红外成像研究现状
【摘 要】
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非制冷红外成像技术由于其成本低可考性好而倍受关注.一种基于MEMS双材料梁阵列的新概念光学读出红外成像系统也于今年来被提出来.介绍了这种系统成像原理,影响参数及其研究
【机 构】
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中科院微电子研究所硅器件与集成技术研究室,北京,100029中国科学技术大学,中科院材料力学行为和设计重点实验室,合肥,230027;
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2007年1期
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