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期刊论文
微机电系统MEMS仿真与建模
微机电系统MEMS仿真与建模
来源 :西安航空技术高等专科学校学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wcf2009
【摘 要】
:
微机电系统是源于微电子加工技术,融合了微机械制造、传感、致动及微控制于一体的系统。微机电系统融合了力、电、流体、光、磁、热等多个物理域,随着建模与仿真技术的迅速发
【作 者】
:
杨雪君
【机 构】
:
黄冈职业技术学院机电学院
【出 处】
:
西安航空技术高等专科学校学报
【发表日期】
:
2011年5期
【关键词】
:
微机电系统
微机械动力学
仿真与建模
MEMS
micro-mechanical dynamics
simulation and model establi
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微机电系统是源于微电子加工技术,融合了微机械制造、传感、致动及微控制于一体的系统。微机电系统融合了力、电、流体、光、磁、热等多个物理域,随着建模与仿真技术的迅速发展,研究有关微机电系统建模与仿真的基本理论和方法。
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