【摘 要】
：
叙述了在芯片制造过程中,含硅薄膜沉积所需的前体化合物的制备。介绍了芯片制造过程中沉积含硅薄膜的方法,包括原子沉积法、脉冲激光沉积法、化学气相沉积法以及磁控溅射法。
【机 构】
：
杭州师范大学有机硅化学及材料技术教育部重点实验室,氟硅精细化学品与材料制造协同创新中心
【基金项目】
：
浙江省公益技术应用研究项目(GG20B040004)
论文部分内容阅读
叙述了在芯片制造过程中,含硅薄膜沉积所需的前体化合物的制备。介绍了芯片制造过程中沉积含硅薄膜的方法,包括原子沉积法、脉冲激光沉积法、化学气相沉积法以及磁控溅射法。未来含硅薄膜在电子材料、光学器件和太阳能电池等方面的需求会逐步提高,在此基础上有望制备出更优异的含硅薄膜前体化合物,用于沉积制备纯度高、致密性好以及物理性能好的含硅薄膜。
其他文献
模数制度是建筑生产工业化的基本问题。文章通过分析西方古典建筑模数与中国古代建筑材份制度的构成方式、结构特征、美学原理和建造意义,回顾模数制度在我国建设实践中的发
目的探讨综合性血液保护措施以减少心内直视手术病人的用血量,从而缓解血源紧张,减少血液传播疾病的发生。方法1998年11月至2004年11月对322例心内直视手术病人通过麻醉、体
目的探讨多导人工耳蜗植入在极重度和重度感音神经性耳聋患者的应用及术后疗效。方法19例耳蜗功能异常患者均于全麻下耳后切口面神经隐窝进路鼓岬钻孔,行澳大利亚人工耳蜗植
党建工作是整个党校建设工作中的重中之重,贯穿在党校工作的各个方面与各个环节。本文首先分析了党校党建工作的现状,包括党校党建工作的服务意识在逐步提高,党建工作的领导
近年来,互联网的应用随着其技术的发展越来越广,可是,随之而来的是在使用互联网的同时,网民们的个人隐私数据和个人信息安全存在着被恶意使用的问题。因此,目前如何解决互联
赏析提要：这幅作品用的是破墨法,水墨洇化,奇妙无比。林散之先生自甘淡泊,喜怒哀乐全部沉浸在诗书画之中,为艺术而生,为艺术而活。草书《字为心画》先后5次著录,是林散之先生
本文对成都市农村统筹投融资体制改革的起因、主要探索、影响因素和存在问题进行了详细的实证研究。分析结果表明,通过涉农投融资体制改革,有利于转变农村资源的配置方式,重
对某大型生物制药企业VOCs排放情况进行监测,研究该企业排放VOCs的重要环节,以及排放的VOCs种类,经过废气收集和治理,VOCs可以达标排放。本研究可为生物制药行业VOCs的治理提
苏东坡是我国古代对养生最有研究的一位文学家。他在许多文章中记载了自己的养生经验。他一生颠沛流离，命运坎坷，却依然活到了65岁，这在人生七十古来稀的古代算是高寿了。从他的生活细节中，不仅可以读懂其人生的追求，还可以感悟其善于养生的高深智慧。 苏东坡善于利用各种食材的不同习性，取得延年益寿的效果。他在《东坡杂记》里，记载了一则常年服食生姜延寿的轶事。话说他在杭州做官时，有一天到净慈寺去游玩，并拜见了
本文中提出了一种用于于PwM模式的电源控制器中的误差放大器双极电路设计，该误差放大电路各个电参数指标如共模抑制比，开环增益，增益带宽，电源电压抑制比等都符合设计要求。此误