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采用MEMS技术制备了一体化集成的EFI芯片，研究了EFI芯片起爆HNS-Ⅳ炸药的能力，试验结果表明在起爆电压高于2400V下EFI芯片能够成功起爆HNS-Ⅳ炸药，并且可靠地剪切出飞片。设计了3种桥箔和加速膛尺寸匹配关系的EFI芯片，用兰利法测试其发火感度。结果表明桥箔尺寸为0.3mm×0.4mm、加速膛直径为0.3mm时，EFI试验件的发火感度最高，50%发火电压为1928V，全发火电压为2013V。