【摘 要】
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多晶硅还原炉在生产过程中经常会倒棒,严重影响着多晶硅的正常生产。多晶硅倒棒后对还原炉内壁、电极、基盘都会造成严重的损坏,会砸坏石墨夹头、隔热石英环等备件从而增加生
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多晶硅还原炉在生产过程中经常会倒棒,严重影响着多晶硅的正常生产。多晶硅倒棒后对还原炉内壁、电极、基盘都会造成严重的损坏,会砸坏石墨夹头、隔热石英环等备件从而增加生产成本,同时高倒棒率会导致还原炉频繁开停炉,降低开炉成功率,增加劳动负荷,更为严重的是倒棒后的硅料会与无定型硅粉、石墨夹头掺杂在一起,降低产品的质量。
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