【摘 要】
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The hot-carrier-induced oxide regions in the front and back interfaces are systemati-cally studied for partially depleted SOI MOSFET’s. The gate oxide propert
【出 处】
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Journal of Electronics(China)
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The hot-carrier-induced oxide regions in the front and back interfaces are systemati-cally studied for partially depleted SOI MOSFET’s. The gate oxide properties are investigated forchannel hot-carrier effects. The hot-carrier-induced device degradations are analyzed using stressexperiments with three typical hot-carrier injection, i.e., the maximum gate current, maximumsubstrate current and parasitic bipolar transistor action. Experiments show that PMOSFET’s
The hot-carrier-induced oxide regions in the front and back interfaces are systemati-cally studied for partially depleted SOI MOSFET’s. The gate oxide properties are investigated for channeling hot-carrier effects. The hot-carrier-induced device degradations are analyzed using stressexperiments with three typical hot-carrier injection, ie, the maximum gate current, maximumsubstrate current and parasitic bipolar transistor action. Experiments show that PMOSFET’s
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