【摘 要】
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为了测量振幅小于1μm的微振动信号，在传统迈克尔逊干涉仪的基础上，提出了一种大光程差情况下的实时高精度测量系统。该系统使用单频窄线宽光纤激光器来减小长光程差下的相位噪
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为了测量振幅小于1μm的微振动信号，在传统迈克尔逊干涉仪的基础上，提出了一种大光程差情况下的实时高精度测量系统。该系统使用单频窄线宽光纤激光器来减小长光程差下的相位噪声影响；用零差解调方法来抑制环境影响导致的相位漂移；双路平衡检测的使用将光源强度噪声降低16dB左右。当测量距离为10m时，光源引起的相位噪声仅为5.28×10^-6 rad／Hz^1/2；但由于电路处理上的限制，实际可探测的最小灵敏度约为10^-5rad／Hz^1/2，当被测信号在100Hz-4kHz之间时，系统具有良好的线性响应
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