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为了实现22nm技术节点，工程师必须在许多方面做出重大决定，例如：是否要从平面化的CMOS器件结构转变为多栅结构；是否要使用不同的沟道材料；以及是否要用铜插入来代替钨插入。
展望22nm技术节点
【摘 要】
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为了实现22nm技术节点，工程师必须在许多方面做出重大决定，例如：是否要从平面化的CMOS器件结构转变为多栅结构；是否要使用不同的沟道材料；以及是否要用铜插入来代替钨插入。
【机 构】
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Editor-in-ChiefSemiconductorInternational
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2009年3期
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