【摘 要】
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以普通光学成像透镜取代显微物镜,以针孔阵列(500×500)取代单针孔,实现了全场并行共焦测量.在数据处理上,采用了内插值三维重构算法,以及二次曲面拟合的系统误差校正算
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目 (6 0 0 770 31);教育部“教育振兴行动计划”资助项目 ([2 0 0 0 ]0 0 0 0 0 6 3)
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以普通光学成像透镜取代显微物镜,以针孔阵列(500×500)取代单针孔,实现了全场并行共焦测量.在数据处理上,采用了内插值三维重构算法,以及二次曲面拟合的系统误差校正算法,可以在较大的采样间距下获取较高的测量精度.实验表明,系统的最大横向测量范围为5 mm×5 mm,横向测量精度约为13 μm,纵向测量精度约为5 μm,因此可大大提高测量视场及测量速度.
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