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采用扫描电镜、3D原子探针、示差热分析等方法研究了合金元素Ru对单晶高温合金中γ′相的析出和演化过程的影响。研究结果表明：γ′的溶解温度随着Ru含量的增加而逐渐降低。铸态下以及固溶处理和时效处理后,γ′相尺寸都随着Ru含量的增加而减小。Ru的加入加快了γ′相的长大和粗化速率,Ru主要分布在γ′基体中。Ru的加入使更多的Mo和Re等元素向γ′相分配,导致错配度的绝对值增大,同时加快γ′相的形筏速率。