改进真空镀膜机直流轰偏电源

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直流轰偏电源输出的平滑的直流电压、加在充有氮气的真空镀膜室内的工件上,不能产生辉光放电,因而无法对不锈钢工件表面进行清洁。为此我们改变输出电路,使之输出脉动直流电压,作用于真空镀膜室,从而使氮气产生辉光放电,达到清洁不锈钢工件表面的目的。
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