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为了解决电火花加工微孔过程中电极磨损问题，提出了一种将接触式和非接触式传感器集成到坐标测量机上测量微孔几何参量的理论和方法，可对喷墨打印机喷嘴、生物医学仪器孔、冷却燃气涡轮机喷嘴和柴油机喷油器喷孔等微孔进行实时测量。介绍了系统的组成和测量原理，讨论了测量步骤。分析了微孔的圆柱度、直径、圆度、直线度和锥度五个几何特征参量，研究了量具的重复性和再现性，以此来评价测量系统的性能，测量结果对于电火花加工微孔过程中的质量控制具有决定性的作用。