微机电反射式可变光衰减器WDL的计算分析

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文章采用矩阵光学方法,结合高斯光束耦合理论,推导出了反射式微电子机械系统(MEMS)可变光衰减器(VOA)波长-损耗相关特性公式;对透镜和插针之间空气隙的长度d1、透镜的长度d2、C透镜折射率和曲率半径等影响波长相关损耗(WDL)的因素进行了详细分析,并分别进行了数值仿真,得出了影响波长损耗相关特性的几个关键因素,这些结果对研制反射式VOA有重要指导意义。
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